真空機組主要設備的功用介紹如下：
（1）真空閥關閉真空閥，機組停止運行，可保持干燥系統一定的真空度。
（2）自動氣動安全閥為防止機組突然停車時水環泵系統中的水向羅茨泵及真空干燥系統中倒灌。
（3）壓差閥機組開始運行時，先啟動水環泵，在壓差閥兩端逐漸產生壓差，達到一定值時，閥自動開啟，使系統中大部分氣體經此閥流進水環泵。當大氣逐漸通過大氣泵流進水環泵，壓差閥兩端壓力又逐漸減小，以致關閥，于是大氣泵隨即開始正常工作，壓差閥的作用是為了縮短大氣泵正常工作前的預抽時間。
（4）水位計起止逆閥的作用，防止水環泵的水倒流。
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